质谱能对混合物进行痕量分析，由于其高灵敏度，所以要求最高纯度的用水。所有的样本制备、样本的前处理，例如固相萃取都需要超纯水。要求水中杂质在ppt水平，进行有机物分析要求电阻率18.2 M?-cm，非常低的TOC，一般指标小于3 ppb。双柱之间的中间水质监测仪提供更进一步的水质保证，最终的水质指标是由良好的预处理系统，加上连续循环流路和纯水的超纯化而实现。

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